Bis Anfang der 1990er-Jahre hatte nur eine regenerative Quelle in Deutschland einen bedeutenden Anteil an der Stromerzeugung: die Wasserkraft. Während der Anteil der Wasserkraft Mitte des 20. Jahrhunderts noch deutlich über 20 Prozent betragen hat, ist dieser Anteil in den vergangenen Jahrzehnten aufgrund des stark gestiegenen Verbrauchs trotz weiterem Ausbaus der Wasserkraft zurückgegangen. Seit Mitte der 1990er-Jahre hat die Windkraft einen spürbaren Anteil an der regenerativen Erzeugung erlangt. Im Jahr 2004 hat sie die Wasserkraft als wichtigste regenerative Energiequelle abgelöst und ist seitdem unangefochten auf Platz 1. Im Jahr 2007 kam erstmals die Stromerzeugung aus Biomasse vor der Wasserkraft auf den zweiten Platz. Im Jahr 2012 hat auch die Photovoltaik die Wasserkraft überholt.

Die Jahre 2009 und 2010 waren vergleichsweise windschwach. Darum war in diesen Jahren kein so starker Anstieg der regenerativen Stromerzeugung wie in den vergangenen Jahren zu verzeichnen. Durch die steigende Erzeugung im Bereich der Biomasse und der Photovoltaik nahm der Anteil regenerativer Energien dennoch weiter zu.

Die folgende Tabelle und Grafik zeigen die jeweilige absolute Erzeugung der jeweiligen regenerativen Energiequellen in Deutschland.